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G100 系列质量流量控制器

 
产品编号: 11487
品牌: hcx
型号: G100
单价: 面议
起订:
供货总量:
发货期限: 自买家付款之日起 天内发货
所在地: 北京
有效期至: 长期有效
最后更新: 2023-06-27 17:19
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公司基本资料信息






详细说明

G100 系列质量流量控制器

数字式设计简介

G100 系列质量流量控制器标配高精度传感 器和数字电路,数字电路可完成测量及控制所需 的所有基本功能。G100 系列采用标准的 RS-485 Modbus RTU 通信模式。RS-485 总线最高可扩展 至 255 台设备同时使用。

G100 质量流量控制器:特点
  • 高精度、高分辨率控制
  • DC 9-36V 宽电压供电
  • 低功率,功率<2W
  • 集成 40 种基础气体种类
  • 可自定义 10 种混合气体
  • 控制参数自整定功能
  • 数字化控制,RS-485 Modbus RTU 通信模式
  • 宽流量量程范围
  • 无安装方向限制
  • 具有高重复性和高可靠性
  • 采用电磁比例阀,使用寿命长,响应速度快
  • 自带温度补偿,补偿范围 0-50℃
  • 内部闭环控制,具有高稳定性
  • 小封装尺寸
G100 质量流量控制器:量程及精度简介
  • 可用量程:最大 0-20slpm,最小 0-10sccm,常备量程请参考选型表
  • 量程比:100:1
  • 满量程精度:±0.5%
  • 读取精度:±1%
  • 可重复性:±0.5%FS
  • 响应时间:<100ms(调节 PID 控制参数可缩 短响应时间)
G100 质量流量控制器:应用领域
  • 气相和液相色谱仪
  • 半导体工艺
  • 环境监测设备
  • 微反应装置及材料制备实验装置(CVD)
  • 气体发生器
  • 配气混气系统
G100 质量流量控制器:功能介绍
功能 说明
流量控制 可实现高精度、高重复性、多种气体质量流量控制。
累计流量 可通过 Modbus-RTU 协议读取累计流量。
多种量程选择 最小量程 50sccm,最大量程 50slpm。
内置 40 种基本气体 内置 40 种基本气体,气体种类可定制。
10 种自定义混合气 可根据使用需求,自定义混合气。
数字控制 使用 RS-485 通信控制。
标准 Modbus-RTU RS-485 通信采用标准 Modbus-RTU 通信协议。
参数自整定 控制参数可通过协议或按键实现自动调整到最佳 PID 控制参数。
设定值记忆功能 开启该功能后,MFC 可记录断电前最后一次设定值,再次通电直接执行该设定值。
阀控功能 可实现阀全开、阀全关、阀自动闭环控制功能。
多台设备串联 通过更改通信地址,最大可实现 255 台设备串联控制。
自定义波特率 可通过 Modbus-RTU 设置自定义波特率。
通信协议兼容原型号(GT130D/GT180)设定流量和读取流量
G100 质量流量控制器:技术参数
运行参数
读数精度 ±1% Rdg
满量程精度 ±0.5% FS
重复性 <±0.5% FS
零点漂移和满量程漂移 <±0.02% FS/℃/Atm
量程比 100:1
典型响应时间 <100 毫秒(可调节 PID 参数达到更短时间>
启动预热时间 <1 秒
标准工况 20℃&101.325kPa(标准工况温度可通过 RS485 调整)
耐压 1 MPa
安装方向要求
电气参数
工作电压 DC 9V-36V±10%
功率 <2W
数字控制信号 RS-485 Modbus-RTU / 按键操作
电信号接口 1×4P 2.54mm 间距带锁接头
物理参数
阀门 比例阀(常闭)
通过介质 气体
工作温度 0-50℃
传感器温度补偿范围 0-50℃
工作湿度 0-100%(非冷凝)
存储温度 -40~85℃
泄漏率 <0.020sccm He (压差 150psi)
G100 质量流量控制器:各量程尺寸
流量控制器量程 机械尺寸(长×宽×高 mm) 气路连接接口
量程 50sccm 至 1slpm 50×25×50 M5
量程 5slpm 50×25×54 M5
量程 10slpm 50×25×58 M5
量程 20slpm 50×25×64 M5
G100 质量流量控制器:气体种类:基本气体种类
非耐腐蚀性流量控制器气体种类
气体编号 化学符号 气体名称 气体编号 化学符号 气体名称
0 Air 空气 20 95%CO2/5%CH4 Bio5
1 N2 氮气 21 90%CO2/10%CH4 Bio10
2 Ar 氩气 22 85%CO2/15%CH4 Bio15
3 H2 氢气 23 80%CO2/20%CH4 Bio20
4 He 氦气 24 75%CO2/25%CH4 Bio25
5 O2 氧气 25 70%CO2/30%CH4 Bio30
6 CH4 甲烷 26 65%CO2/35%CH4 Bio35
7 CO 一氧化碳 27 60%CO2/40%CH4 Bio40
8 CO2 二氧化碳 28 55%CO2/45%CH4 Bio45
9 C2H2 乙炔 29 50%CO2/50%CH4 Bio50
10 C2H4 乙烯 30 45%CO2/55%CH4 Bio55
11 C2H6 乙烷 31 40%CO2/60%CH4 Bio60
12 C3H8 丙烷 32 35%CO2/65%CH4 Bio65
13 iC4H10 异丁烷 33 30%CO2/70%CH4 Bio70
14 nC4H10 正丁烷 34 25%CO2/75%CH4 Bio75
15 N2O 一氧化二氮 35 20%CO2/80%CH4 Bio80
16 SF6 六氟化硫 36 15%CO2/85%CH4 Bio85
17 Xe 氙气 37 10%CO2/90%CH4 Bio90
18 Ne 氖气 38 95%Ar/5%CH4 C-5
19 Kr 氪气 39 90%Ar/10%CH4 C-10
所有气体可根据使用需求重新定义。
耐腐蚀型流量控制器气体种类
气体编号 化学符号 气体名称 气体编号 化学符号 气体名称
0 Air 空气 20 NH3 氨气
1 N2 氮气 21 H2S 硫化氢
2 Ar 氩气 22 NO 一氧化氮
3 H2 氢气 23 NO2 二氧化氮
4 He 氦气 24 C3H6 丙烯
5 O2 氧气 25 SiH4 硅烷
6 CH4 甲烷 26 SO2 二氧化硫
7 CO 一氧化碳 27 CH3Br 溴甲烷
8 CO2 二氧化碳 28 n-C5H12 正戊烷
9 C2H2 乙炔 29 i-C5H12 2-甲基丁烷/异戊烷
10 C2H4 乙烯 30 C5H12 2,2-二甲基丙烷/新戊烷
11 C2H6 乙烷 31 NF3 三氟化氮
12 C3H8 丙烷 32 1-Buten 1-丁烯
13 iC4H10 异丁烷 33 c-Buten 顺-2-丁烯
14 nC4H10 正丁烷 34 t-Buten 反-2-丁烯
15 N2O 一氧化二氮 35 i-Buten 异丁烯
16 SF6 六氟化硫 36 CF4 四氟化碳
17 Xe 氙气 37 C2F6 全氟乙烷
18 Ne 氖气 38 CHF3 三氟甲烷
19 Kr 氪气 39 SiH2Cl4 二氯甲硅烷
所有气体可根据使用需求重新定义。
自定义混合气体种类
气体编号 气体名称 气体编号 气体名称
40 自定义混合气 0 45 自定义混合气 5
41 自定义混合气 1 46 自定义混合气 6
42 自定义混合气 2 47 自定义混合气 7
43 自定义混合气 3 48 自定义混合气 8
44 自定义混合气 4 49 自定义混合气 9
所有气体可根据使用需求重新定义。
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