特种气体的分类有哪些？

美国英思科MX4 Ventis多气体检测仪特种气体是气体工业名词，是指那些在特定领域中应用的，对气体有特殊要求的纯气，高纯气或由高纯单质气体配制的二元或多元混合气。氟气用于半导体器件制备工艺中等离子干刻；另外,用于制备六氟化铀、六氟化硫、三氟化硼和金属氟化物等。

氨气用作标准气、校正气、在线仪表标准气；用于半导体器件制备工艺中氮化工序；另外,用于制冷、化肥、石油、采矿、橡胶等工业。氯化氢用作标准气；用于半导体器件制备工艺中外延、热氧化、扩散等工序；另外,用于橡胶氯氢化反应中的化学中间体、生产乙烯基和烷基氯化物时起氧氯化作用。一氧化氮用作标准气、校正气；用于半导体器件制备工艺中化学气相淀积主序；制备监控大气污染的标准vocS 污染混合气。

 

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