· 主机机箱采用不锈钢材料（抗化学腐蚀易清洁）
· 旋涂程序：最多可存100组程序，每组100步，每个步骤可精确到0.1秒
· 转动速度：0-10,000rpm（更高速可选）
· 旋涂加速度：0-50,000rpm/sec（空载）
· 马达旋涂转速稳定性能误差 < ±1rpm
· 转速调节精度<1rpm，重复性< 1rpm
· 工艺时间设定： 0-3,000 sec/step，时间设置精度：0.1sec
· 支持wafer尺寸25px-200mm（8”圆晶）
· 旋涂作业均匀性：< ±3% 在6英寸范围内（需要去除边缘3毫米区域测量）
产品外型尺寸：
433mm(D) * 306mm(W) * 306mm(H) – 标准设备结构
306mm(D) * 306mm(W) * 306mm(H) – 可选分体结构
