EZ4匀胶机

产品参数说明：

l耐腐蚀、易清洁注塑内腔，HDPE材料真空吸盘

l耐溶剂性PC材料透明盖，恒定扭矩定位功能

l文本显示器，按键控制，中英文可选

l75W直流无刷电机，单片机控制

l可处理碎片（小于1cm）至4英寸圆晶底物

l转速可控范围：100-9999rpm，转速分辨率：1rpm

l加速度可控范围：100-9999rpm/s

l最大单步步长：3000s，时间分辨率：1s

l可进行多步程序运行，最多可编辑5组5步程序

l宽输入电压适用：AC100-230V输入

 EZ4匀胶机产品外型尺寸： 210 (W) * 265 (D) * 213 (H)
 

 EZ4匀胶机产品附件选择：

l标配三种规格载物盘（直径10mm,25mm,55mm）。

l根据基片尺寸和要求可提供嵌入式或档杆式定制载物盘设计加工。

l用于柔性薄膜基片可提供定制微孔陶瓷真空吸附载物盘。

l旋涂内腔易拆卸，方便废胶清洗，内腔可更换。

l无油真空泵（抽气量15L/min以上）或真空发生器可选。