PS-7半导体工厂用系统
模拟传送方式
DeviceNet(设备网络)搭载方式
PS-7-M半导体工厂用系统
Ethernet PoE
- 设置
- ◈TCP/IP ADDRESS
- ◈STATUS data
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- ◈Sensor gas
- ◈full scal,s/n
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- ◈trend
Ethernet ModbusTCP/IP
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RS-485
特点
- ◈ 通过更换传感器就可以检测多种气体的半导体材料气体检测器
- ◈传感器经过校准和交付，无需现场气体校准。此外，无需工具即可轻松更换传感器
- ◈小巧·轻便的设计
- ◈通过 LCD 显示屏轻松了解气体浓度，报警状态和错误信息
- ◈采样流量的自动控制功能
- ◈当插入与设置不同的传感器时，传感器具有防止错误插入的功能
- ◈通过连接 PDA，可以获取存储在检测单元中的数据
- ◈转换器单元（选件）可用于检测 NF3 和 CCl2
- ◈符合 CE 标准
- ◈符合 SEMI 标准
新宇宙气体检测部的优势
- ◈传感器组件是在已经经过校正后送到现场的。在更换传感器组件时，只要进行 归零确认以及动作确认便将进入监视状态，因此不会把污染气体带入洁净室。
- ◈卸下的传感器组件可以在再生工序中再生使用，因此，与以往方式相比，能以 比较低廉的价格予以使用。
- ◈可以不使用工具来更换那些需要定期更换的传感器组件与采样组件。
- ◈功能零件全部为组件形式，因此，更换组件可以在较短的时间内进行。
- ◈通过本公司的管理系统，可以在更换传感器组件与采样组件时提醒客户，由此 做到了安心管理。
- ◈适用于 CE 规格和 SEMI 规格
通过与掌上电脑(PDA)相连接,可以读取存储在检测部内部的数据。
选购品
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转换器组件
通过将转换器组件与定电位电解式传感器进行组合，也可以检测 NF3气体。
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设备网络组件
在与上位系统的通信协议方面采用了设备网络(Device Net)它可以非常简便地与PLC进行连接（与设备网络组件的组合）。
外形尺寸图
PS-7半导体工厂用系统:规格
| 型号 | PS-7 | |
| 类 型 | 标准型 | 附带转换器组件型 |
| 检测原理 | 定电位电解式、热线型半导体式、隔膜伽伐尼电池式 | 热分解 + 定电位电解式 |
| 检测方式 | 泵吸引式（0.5L/min 吸引流量 自动控制） | |
| 采样配管 ※1 | 特氟龙外径 6 内径 4㎜，配管距离在 20m 以内 | |
| 报警接点 | ◆ 气体报警（1 段以及 2 段）
·报警 ：红色液晶指示灯闪烁 ：液晶画面 第 1 段：ALARM1 第 2 段：ALARM1、ALARM2 显示 ◆ 流量降低报警 ·堵塞指示显示 ：流量显示为低速运转 ·报警 ：黄色 LED 指示灯闪烁 ：液晶画面 FLOW 显示以及流量显示为停止运转状态 ◆ 传感器故障报警 / 传感器误插入报警 ·报警 ：黄色 LED 指示灯闪烁 ：液晶画面 SENS.显示 ◆ 热分解炉断线报警 ※2 ·报警 ：黄色 LED 指示灯闪烁 ：液晶画面 CONV.显示 |
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| 外部输出 | ·气体浓度模拟输出 DC4 ～ 20mA（与电源的负极通用） | |
| ·气体报警接点（1 段以及 2 段） 1a 无电压接点 / 自动复位 | ||
| ·故障报警接点 （开路集电极 / 自动复位） | ||
| 适用电缆线 | 控制用屏蔽电缆线（φ8 ～ 11㎜）×2 3 芯或者 4 芯 | |
| 使用温度湿度范围 | 0℃～ 40℃（但是，温度无剧烈变化），30 ～ 85%RH（无结露现象） | |
| 电 源 | DC24V±10% | |
| 消耗电力 | 约 7W | 约 10W |
| 外形尺寸 | W62×H124×D143㎜（选购品和突出部份除外） | |
| 重 量 | 约 1.0kg | |
| 安装方法 | 壁挂式 | |
◈注意：
- ※1.推荐使用特氟龙。但是如果是吸附性较强的气体时，根据使用情况的不同也将有所差异，因此，请向本公司进行咨询。产品有可能改进而对上述规格进行修改，对此恕不预先通知用户。
- ※2.仅限于附带转换器的产品
