由于仪器测量精度高，具有非接触和三维测量的特点，并采用计算机控制和快速分析、计算测量结果，本仪器适用于各级测试、计量研究单位工矿企业计量室，精密加工车间，也适用于高等院校和科学研究单位等。
主要技术参数
表面微观不平深度测量范围
在连续表面上，相邻二象素之间没有大于1 / 4 波长的高度突变时：1000 一1nm
相邻二象素之间含有大于1 / 4 波长的高度突变时：130 一1nm
测量的重复性：δRa ≤0.5nm
物镜倍率:40X
数值孔径:Φ 65
工作距离:
仪器视场 目视: Φ
摄象（计算机屏幕观察）一2500×
接收器测量列阵:1000X1000
象素尺寸:5.2×5.2µm
测量时间采样（扫描）时间:1S
仪器标准镜 反射率（高）: ～50 %
反射率（低）: ～4 %
照明光源:白炽灯6V 5W
绿色干涉滤光片波长:λ≒530nm
半宽度λ≒10nm
主显微镜升程:
工作台升程:
X 、丫方向移动范围: ～
