高精度，多气体多量程，自动调零，量程5sccm-50slm
橡胶密封，通讯方式：模拟0-5V、模拟0-10V、数字485、DeviceNet
主要特点：
1、 数字化，橡胶密封
2、 高精度，快响应
3、极低零漂及温漂
4、良好的兼容性
技术参数：
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型号 |
CS200（A） |
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流量规格（N2） |
( 0～5,10,20,30,50,100,200,300,500)SCCM （0～1,2,3,5,10,20,30,50)SLM |
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准确度 |
±1.0% S.P. (≥35% F.S.) ±0.35% F.S.(＜35% F.S.) |
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线性 |
±0.5% F.S. |
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重复精度 |
±0.2% F.S. |
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响应时间 |
≤ 1sec |
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阀类型 |
Normally Closed or Normally Open |
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工作压差范围 |
(0.05～0.35) Mpa（≤10slm） |
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温度系数 |
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最大工作压力 |
3MPa |
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零漂 |
＜0.6%F.S. per year without autozero |
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漏率 |
1×10-9 atm•cc / sec He（1×10-10 Pa•m3 / sec He） |
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密封材料 |
Viton;Neoprene |
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表面粗糙度 |
25Ra |
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工作环境温度 |
（5～45）℃ |
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输入信号 |
Digital: RS485 DeviceNetTM |
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输出信号 |
Digital: RS485 DeviceNetTM Analog:(0～5)VDC and (4～20)mA |
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电源 |
±11 ~ ±16 VDC or +11 ~ +28 VDC(400mA) |
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电气连接 |
D sub 9 pins male，D sub 15 pins male |
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标准接头形式 |
VCR1/4” M；SwagelokΦ3；SwagelokΦ6； SwagelokΦ10； Swagelok1/4”；W-seal；C-seal |
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重量 |
1kg |
