D07-19B型质量流量控制器 ★高精度,快响应型 ★橡胶密封、模拟电路的MFC ★采用DB15型电插头,国际标准机械接头 ★国际兼容 用途: 质量流量控制器(MFC)用于对气体的质量流量进行精密地测量和控制。广泛用于电子工艺设备、真空镀膜、石油化工、冶金、制药、光纤熔炼、分析测量仪器、制气配气等行业。
D07-19B型质量流量控制器流量计 详细参数
标准:
气体质量流量用氮气(N2)标定。标准状态规定为:
标准温度………………0℃(273.15K)
标准压强………………101325Pa
输入和输出:
输入电源………………+15V,50mA,-15V,200mA
输入设定电压…………0~+5.00V
输出电压检测…………0~+5.00V
产品技术指标
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满量程流量范围(N2) |
5SCCM~30SLM |
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控制范围 |
2~100%F.S. |
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阀类型(阀初始状态) |
电磁调节阀 HREF="/Product/ProductDetail.aspx?OID=53" target=_blank>电磁调节阀(常闭) |
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重复精度 |
±0.2%F.S. |
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响应时间 |
≤4sec |
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工作温度范围 |
5~45℃ |
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耐压 |
3MPa |
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漏气率 |
1×10-9SCCSHe |
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密封材料 |
氟橡胶、聚四氟乙烯、氯丁橡胶 |
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电插头形式 |
DB15 pin(Male) |
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CE |
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重量 |
2.6kg |
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