立式接触式干涉仪 JDS-1

被测件最大长度：

150 mm

工作台行程：

5 mm

测杆移动范围：

0.5mm

分划板刻度范围：

±50格

直接测量范围：

5-20μm

分度值调整范围：

0.05-0.2 μm

推荐使用分度值：

0.1 μm

测量压力：

(1.5±0.1) N

仪器示值稳定性：

0.02 μm

仪器误差：

±（0.03+1.5ni △λ/λ）um

n 是格数, i是格值,λ是滤光片中心波长，△λ是滤光片波长误差

仪器体积：

280×500×700 mm

仪器重量：

40 kg

1

1、五筋园台

2

九筋玛瑙台

3

可调园平台

4

辅助台

5

平面测帽 Ф2

6

小球面测帽

7

干涉滤光片