产品技术指标
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满量程流量范围（N2） |
5SCCM～10SLM |
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控制范围 |
2～100％F.S. |
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阀类型（及阀初始状态） |
电磁调节阀（常闭） |
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准确度 |
±1.5％F.S. |
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线性 |
±0.5～1.5％F.S. |
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重复精度 |
±0.2％F.S. |
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响应时间 |
≤7sec |
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工作温度范围 |
5～45℃ |
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工作压差 |
0.1～0.5MPa |
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耐压 |
3MPa |
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漏气率 |
1×10-8atm.cc/sec He |
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通道湿材料 |
316L不锈钢、密封材料 |
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静密封材料 |
氟橡胶（或丁晴橡胶、硅橡胶） |
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电连接器 |
D sub 9 pins male，D sub 15 pins male，DeviceNetTMmale |
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动密封材料 |
氟橡胶（或丁晴橡胶、硅橡胶、聚四氟乙烯） |
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接头选择 |
VCR 1/4” |
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Swagelok 1/4”或φ6、φ3 |
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重量 |
1.1Kg |
