D07-7CM型 气体质量流量计 ★高性能价格比、普通型产品 ★橡胶密封、模拟电路的MFM ★7B型的更新换代型 ★管状分流,使用寿命长 用途: 质量流量计(MFM)用于对气体的质量流量进行精密地测量。广泛用于电子工艺设备、真空镀膜、石油化工、冶金、制药、光纤熔炼、分析测量仪器、制气配气等行业。
D07-7CM型 气体质量流量计详细参数
标准:
气体质量流量用氮气(N2)标定。标准状态规定为:
标准温度………………0℃(273.15K)
标准压强………………101325Pa
输入和输出:
输入电源………………+15V,50mA,-15V,50mA
输出电压检测…………0~+5.00V
D07-7CM型 气体质量流量计产品技术指标
| 满量程流量范围(N2) | 5SCCM~10SLM | |||||
| 控制范围 | 2~100%F.S. | |||||
| 准确度 | ±1.5%F.S. | |||||
| 线性 | ±0.5~1.5%F.S. | |||||
| 重复精度 | ±0.2%F.S. | |||||
| 响应时间 | ≤7sec | |||||
| 工作温度范围 | 5~45℃ | |||||
| 工作压差 | <0.01MPa | |||||
| 耐压 | 3MPa | |||||
| 漏气率 | 1×10-8atm.cc/sec He | |||||
| 密封材料 | 氟橡胶(或氯丁橡胶) | |||||
| 电插头形式 | DB15 pin(Male) | |||||
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| 抗电磁干扰 | CE | |||||
| 重量 | 0.92kg | |||||


