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D07-7BM型 气体质量流量计★高性能价格比、普通型产品 ★橡胶密封、模拟电路的MFC ★7M型的更新换代型 ★管状分流,使用寿命长 用途: 质量流量计(MFM)用于对气体的质量流量进行精密地测量。广泛用于电子工艺设备、真空镀膜、石油化工、冶金、制药、光纤熔炼、分析测量仪器、制气配气等行业。
D07-7BM型 气体质量流量计★高性能价格比、普通型产品 ★橡胶密封、模拟电路的MFC ★7M型的更新换代型 ★管状分流,使用寿命长 用途: 质量流量计(MFM)用于对气体的质量流量进行精密地测量。广泛用于电子工艺设备、真空镀膜、石油化工、冶金、制药、光纤熔炼、分析测量仪器、制气配气等行业。
D07-7BM型 气体质量流量计详细参数
标准:
气体质量流量用氮气(N2)标定。标准状态规定为:
标准温度………………0℃(273.15K)
标准压强………………101325Pa
输入和输出:
输入电源………………+15V,50mA,-15V,50mA
输出电压检测…………0~+5.00V
D07-7BM型 气体质量流量计产品技术指标
满量程流量范围(N2) | 5SCCM~10SLM | |||||
控制范围 | 2~100%F.S. | |||||
准确度 | ±1.5%F.S. | |||||
线性 | ±(0.5~1.5)%F.S. | |||||
重复精度 | ±0.2%F.S. | |||||
响应时间 | ≤7sEC | |||||
工作温度范围 | 5~45℃ | |||||
工作压差 | <0.01MPa | |||||
耐压 | 3MPa | |||||
漏气率 | 1×10-8SCCSHe | |||||
密封材料 | 氟橡胶(或氯丁橡胶) | |||||
电插头形式 | DB15 pin(Male) | |||||
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重量 | 0.92kg |