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D07-19C型 气体质量流量控制器
型号:D07-19C型 气体质量流量控制器
订货号:
厂家:七星电子
价格:¥1500.00元/台
区域:北京
    D07-19C型 气体质量流量控制器★高精度,快响应型 ★橡胶密封、模拟电路的MFC ★采用DB15型电插头,国际标准机械接头 ★国际兼容 用途: 质量流量控制器(MFC)用于对气体的质量流量进行精密地测量和控制。广泛用于电子工艺设备、真空镀膜、石油化工、冶金、制药、光纤熔炼、分析测量仪器、制气配气等行业。
     
    D07-19C型 气体质量流量控制器★高精度,快响应型 ★橡胶密封、模拟电路的MFC ★采用DB15型电插头,国际标准机械接头 ★国际兼容 用途: 质量流量控制器(MFC)用于对气体的质量流量进行精密地测量和控制。广泛用于电子工艺设备、真空镀膜、石油化工、冶金、制药、光纤熔炼、分析测量仪器、制气配气等行业。

    标准:

    气体质量流量用氮气(N2)标定。标准状态规定为:

    标准温度………………0℃(273.15K)

    标准压强………………101325Pa


    输入和输出:

    输入电源………………+15V,50mA,-15V,200mA

    输入设定电压…………0~+5.00V

    输出电压检测…………0~+5.00V

    满量程流量范围(N2) 5SCCM~5SLM
    控制范围 2~100%F.S.
    阀类型(阀初始状态) 电磁调节阀 HREF="/Product/ProductDetail.aspx?OID=53" target=_blank>电磁调节阀(常闭)
    准确度 ≤10SLM ±0.5~1%F.S.
    >10SLM ±2%F.S.
    线性 ≤10SLM ±0.5~1%F.S.
    >10SLM ±2%F.S.
    重复精度 ±0.2%F.S.
    温度系数 Zero:≤±0.1%F.S./℃
    Span:≤±0.2%F.S./℃
    响应时间 ≤1sEC
    工作温度范围 5~45℃
    工作压差 ≤10SLM 0.1~0.5MPa
    >10SLM 0.1~0.3MPa
    耐压 3MPa
    漏气率 1×10-9SCCSHe
    密封材料 氟橡胶、聚四氟乙烯、氯丁橡胶
    接头选择 VCR 1/4”或&pHi;4hose、φ6hose
    双卡套 1/8”、1/4”或φ3、φ6mm
    电插头形式 DB15 pin(Male)
    抗电磁干扰 CE
    重量 1.2kg
    暂无信息
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