特点 |
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带有气体采样流量自动控制功能 |
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LCD显示,现场状态一目了然 |
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实现小型、轻量化 |
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可简单地更换传感器和采样气路 |
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带有防止传感器单元错误插入的功能 |
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可以设定多样的维护模式 |
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组合对应热分解单元与定电位电解式传感器,能检测NF3等 |
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实现了用PDA读取数据 |
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符合CE规格,SEMI规格 |
规格
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