D07-19C型 气体质量流量控制器★高精度，快响应型 ★橡胶密封、模拟电路的MFC ★采用DB15型电插头，国际标准机械接头 ★国际兼容 用途: 质量流量控制器（MFC）用于对气体的质量流量进行精密地测量和控制。广泛用于电子工艺设备、真空镀膜、石油化工、冶金、制药、光纤熔炼、分析测量仪器、制气配气等行业。
标准:
气体质量流量用氮气(N2)标定。标准状态规定为：
标准温度………………0℃（273.15K）
标准压强………………101325Pa
输入和输出:
输入电源………………+15V,50mA,-15V,200mA
输入设定电压…………0～+5.00V
输出电压检测…………0～+5.00V
| 满量程流量范围（N2) | 5SCCM～5SLM | |||||
| 控制范围 | 2～100％F.S. | |||||
| 阀类型（阀初始状态） | 电磁调节阀 HREF="/Product/ProductDetail.aspx?OID=53" target=_blank>电磁调节阀（常闭） | |||||
|
||||||
|
||||||
| 重复精度 | ±0.2％F.S. | |||||
| 温度系数 | Zero:≤±0.1%F.S./℃ Span:≤±0.2%F.S./℃ |
|||||
| 响应时间 | ≤1sec | |||||
| 工作温度范围 | 5～45℃ | |||||
|
||||||
| 耐压 | 3MPa | |||||
| 漏气率 | 1×10-9SCCSHe | |||||
| 密封材料 | 氟橡胶、聚四氟乙烯、氯丁橡胶 | |||||
|
||||||
| 电插头形式 | DB15 pin(Male) | |||||
| 抗电磁干扰 | CE | |||||
| 重量 | 1.2kg | |||||
