由于仪器测量精度高，具有非接触和三维测量的特点，并采用计算机控制和快速分析、计算测量结果，本仪器适用于各级测试、计量研究单位工矿企业计量室，精密加工车间，也适用于高等院校和科学研究单位等。

主要技术参数

表面微观不平深度测量范围

在连续表面上，相邻二象素之间没有大于1 / 4 波长的高度突变时：1000 一1nm

相邻二象素之间含有大于1 / 4 波长的高度突变时：130 一1nm

测量的重复性：δRa ≤0.5nm

物镜倍率:40X

数值孔径:Φ 65      

工作距离:0.5mm

仪器视场  目视: Φ0.25mm

摄象（计算机屏幕观察）一2500×

接收器测量列阵:1000X1000

象素尺寸:5.2×5.2µm

测量时间采样（扫描）时间:1S

仪器标准镜     反射率（高）: ～50 %

反射率（低）: ～4 %

照明光源:白炽灯6V 5W

绿色干涉滤光片波长:λ≒530nm  

半宽度λ≒10nm  

主显微镜升程:110 mm

工作台升程:5 mm

X 、丫方向移动范围: ～10 mm