纯度检测部分：
测 量 方 式： 红外测量原理 （欧洲传感器公司NDIR系列传感器）
使用环境温度：-20℃ ~ +60℃
测 量 范 围： 0~100%
响应时间[90％] 60s
测 量 误 差： 优于±0.5%FS
重复性误差： ±0.5%
分 辨 率 ： 0.01%
显 示 单 位： %
气 体 流 量： 400 ~ 600ml/min
流 量 显 示： 0~1000mL进口数字流量计
样 气 压 力： ≤1MPa
环 境 湿 度： 90%RHSF6气体检测回收设
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