接口定义
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线号定义 |
参数 |
点号 |
|
RS-485+ |
485 A/+ |
1 |
|
RS-485- |
485 B/- |
2 |
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电源地 |
GND |
3 |
|
电源正极 |
+24V |
4 |
数字式气体质量流量控制器GT-130D参数信息
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流量 |
10sccm/100sccm/500sccm/1slpm/10slpm |
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气体类型 |
H2/He/N2/Air（可定制） |
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精度 |
±1%F.S. |
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响应时间 |
≤1s |
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气路材质 |
钝化316L不锈钢/铝合金 |
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工作温度 |
0~50℃ |
|
工作湿度 |
0~95%R.H.（非冷凝） |
|
电源 |
24V±10%/12V±10% |
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信号接口 |
RS-485（Modbus） |
数字式气体质量流量控制器GT-130D选型表
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型号 |
气体种类 |
量程范围 |
供电电压 |
接口尺寸 |
气路材质 |
精确度等级 |
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|
GT130D |
代号 |
介质 |
代号 |
量程 |
代号 |
电压 |
代号 |
接口 |
代号 |
材质 |
代号 |
等级 |
|
H2 |
氢气 |
50 |
0-50ccm |
12 |
12V |
16 |
1/16 |
SS |
不锈钢 |
1 |
0.5 |
|
|
N2 |
氮气 |
100 |
0-100ccm |
24 |
24V |
08 |
1/8 |
AL |
铝 |
2 |
1.0 |
|
|
HE |
氦气 |
500 |
0-500ccm |
X |
定制 |
04 |
1/4 |
X |
定制 |
3 |
1.5 |
|
|
AR |
氩气 |
1L |
0-1lpm |
X |
定制 |
4 |
2.0 |
|||||
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AIR |
空气 |
5L |
0-5lpm |
5 |
2.5 |
|||||||
|
CO2 |
二氧化碳 |
10L |
0-10lpm |
X |
定制 |
|||||||
|
X |
定制 |
20L |
0-20lpm |
|||||||||
|
X |
定制 |
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示例 |
GT130D-AR-20L-24-04-AL-5（数字式质量流量控制器-氩气-20lpm-24V-1/4-铝-2.5级） |
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