CN61M/WJZ-II 多功能激光椭圆偏振仪
产品特点：仪器采用消光法自动测量薄膜厚度和折射率，具有精度高、灵敏度高以及方
便测量等特点；
光源采用氦氖激光器，功率稳定、波长精度高；
仪器配有生成表、查表以及精确计算等软件，方便用户使用。
规格与主要技术指标：
测量范围：薄膜厚度范围：1nm-300nm；折射率范围：1-10
测量最小值：≤1nm 入射光波长：632.8nm 光学中心高：80mm
允许样品尺寸：φ10-φ140mm，厚度≤16mm
偏振器方位角范围：0°- 180°读取分辨率为0.05°
外形尺寸：680*390*320mm
测量膜厚和折射率重复性精度分别为：±0.5nm和±0.005
主机重量：25kg 入射角连续调节范围：20°- 90°精度为0.05°
成套性：主机、电控系统、计算软件
