| 产品型号 | CS200-A |
| 量程(N2) | ( 0～5,10,20,30,50,100,200,300,500)SCCM |
| ( 0～1,2,3,5,10,20,50)SLM | |
| 精度 | ±1.0% S.P. (≥35% F.S.) |
| ±0.35% F.S.(＜35% F.S.) | |
| 重复精度 | ±0.2% FS |
| 线性 | ±0.5% FS |
| 响应时间 | ≤1sec |
| 阀类型 | Normally Closed or Normally Open |
| 温度系数 | Zer ≤±0.05% F.S./℃；Span: ≤±0.1% F.S.℃ |
| 零点漂移指标 | ＜0.6%F.S. per year without autozero |
| 表面粗糙度 | 25µinch |
| 工作环境温度 | （5～45）℃ |
| 输入信号 | Digital:RS485/DeviceNet/Profibus Analog:(0～5)VDC(default)/ (4～20)mA/(0～20)mA< |
| 模拟流量输出信号 | 0-5V和4-20mA |
| 模拟流量控制信号 | 0-5V和4-20mA |
| 电源要求 | ±8 ~ ±16 VDC or +14 ~ +28 VDC(400mA) |
| 电气连接 | D sub 9 pins male, D sub 15 pins male, DeviceNet male, DeviceNet male+Analog Output,Profibus |
| 工作压差范围 | (0.05～0.35) MPa （≤10slm） (0.1～0.35) MPa（20slm, 30slm） (0.2～0.45) MPa（50slm） |
| 最大耐压 | 3MPa |
| 漏率 | 1×10-9atm·cc / sec He（1×10-10 Pa·m3 / sec He） |
| 密封材料 | 氟橡胶Viton |
| 接头尺寸 | VCR1/4” M；双卡套Φ3、Φ6、Φ10、1/4”、1/8” |
| 重量 | 1kg |
CS200-A型 数字式气体质量流量控制器
