cosmos XPS-7II CODE X7HC30 氯化氢气体传感器 （HCL)
cosmos XPS-7 毒性气体检测器
cosmos XPS-7 毒性气体检测器:用途
- ◈半导体工厂/石油化学工厂等
- ◈在使用半导体材料气体/毒性气体 的现场进行泄漏检测
cosmos XPS-7 毒性气体检测器:特 点
- ◈只需要更换传感器单元就可以检测 各种对象气体
- ◈用盒式传感器单元无需进行气体检 测器校正
- ◈可以大幅度削减成本和维护时间
◈选购品
◈传感器专用通电台（EC-7）
◈请在专用通电台（EC-7）对传感器组件进行通电。 （可挂6台）
对象气体一览表（XPS-7/XPS-7Ⅱ）
| 型 号 | 气 体 | 满量程 |
| XDS-7NH | NH3 | 100ppm |
| XDS-7SH | SiH4 | 25ppm |
| XDS-7DC | SiH2Cl2 | 25ppm |
| XDS-7AH | AsH3 | 250ppb |
| XDS-7PH | PH3 | 1ppm |
| XDS-7BH | B2H6 | 500ppb |
| XDS-7SE | H2Se | 250ppb |
| 型 号 | 气 体 | 满量程 |
| XDS-7GH | GeH4 | 1ppm |
| XDS-7CL | Cl2 | 5ppm |
| XDS-7CF | ClF3 | 1ppm |
| XDS-7HC | HCl | 25ppm |
| XDS-7HF | HF | 10ppm |
| XDS-7HB | HBr | 10ppm |
| XDS-7NO | NO | 100ppm |
| 型 号 | 气 体 | 满量程 |
| XDS-7HS | H2S | 50ppm |
| XDS-7CO | CO | 250ppm |
| XDS-7DS | Si2H6 | 25ppm |
| XDS-7F2 | F2 | 5ppm |
| XDS-7OZ | O3 | 1ppm |
| XDS-7SD | SO2 | 10ppm |
| XDS-7ND | NO2 | 10ppm |
