D07-19B型质量流量控制器 ★高精度，快响应型 ★橡胶密封、模拟电路的MFC ★采用DB15型电插头，国际标准机械接头 ★国际兼容 用途: 质量流量控制器（MFC）用于对气体的质量流量进行精密地测量和控制。广泛用于电子工艺设备、真空镀膜、石油化工、冶金、制药、光纤熔炼、分析测量仪器、制气配气等行业。
详细参数
标准:
气体质量流量用氮气(N2)标定。标准状态规定为：
标准温度………………0℃（273.15K）
标准压强………………101325Pa
输入和输出:
输入电源………………+15V,50mA,-15V,200mA
输入设定电压…………0～+5.00V
输出电压检测…………0～+5.00V
产品技术指标
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满量程流量范围（N2) |
5SCCM～30SLM |
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控制范围 |
2～100％F.S. |
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阀类型（阀初始状态） |
电磁调节阀 HREF="/Product/ProductDetail.aspx?OID=53" target=_blank>电磁调节阀（常闭） |
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重复精度 |
±0.2％F.S. |
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响应时间 |
≤4sec |
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工作温度范围 |
5～45℃ |
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耐压 |
3MPa |
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漏气率 |
1×10-9SCCSHe |
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密封材料 |
氟橡胶、聚四氟乙烯、氯丁橡胶 |
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电插头形式 |
DB15 pin(Male) |
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抗电磁干扰 |
CE |
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重量 |
2.6kg |
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